TURBOVAC MAG 磁悬浮分子泵

TURBOVAC MAG系列耐腐蚀磁悬浮分子泵，适用于从10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压

强范围。对空气的抽速从300 l x s-1(进气口法兰直径 = 100mm(3.94in.))至3200 l x s-1(进气口法兰直径 = 320mm(12.6in.))不等。

TURBOVAC MAG泵常用于半导体工业，例如蚀刻、CVD、PVD和离子注入，也就是需要抽除腐蚀性气体的应用

条件。

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的新产品！

它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击

设计相结合， 保证了T U R B O V A CMAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的优势又延续了莱宝分子泵耐冲击的一贯特性。

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵适合短节拍大气载的应用，可帮助客户缩短工艺节拍，提高工作效率。非常适合电子显微镜，玻璃镀膜、工业和科研等应用。

TURBOVAC MAC产品线的优势是：

- 无碳氢化合物，可以实现清洁的高真空和超高真空条件；

- 任何安装方向都具有高性能

- 运行高度可靠

- 振动极低

- 防腐蚀版可以抽除腐蚀性气体

- 免维护

TURBOVAC MACiNTEGRA产品线的优势是：

- 全集成磁悬浮分子泵，即插即用

- 在同级别产品中，性能佳

- 适应客户的空间要求，集成控制器的位置可以在侧面或者底部

- 适合工业应用，保护等级IP54